设备优势

• 功能性能优势（shì）

  当（dāng）前业内（nèi）最高性能（néng），
  每小时出（chū）片量（WPH）超过16000，远（yuǎn）高于行（háng）业10000～12000的平均水平
  检测量测精度达到0.8um
  碎片率（lǜ）稳定低于0.05%
  漏检率（lǜ）<0.1%，过杀率< 0.05%

• 机电优（yōu）势

  上（shàng）料：两套缓（huǎn）存机构无（wú）缝衔（xián）接上料；兼容多尺寸花（huā）篮 下料：采用伯努利悬浮式（shì）下（xià）料装置，保障极低的碎片率；并行多（duō）组独立下（xià）料装置；下料盒（hé）无缝切换
  电（diàn）气优势：实时（shí）监（jiān）控物料，提示报警信息，定位问（wèn）题工位；各工（gōng）位（wèi）独（dú）立（lì）控制，精准调控

  
• 检测优势

  多工位检测硅片四周崩（bēng）边及（jí）表面缺陷，采用识（shí）别硅材质的（de）深（shēn）度学习模型，高精（jīng）度完成检测（cè）

  
• 量（liàng）测优势

  上下双线扫（sǎo）相机精准识别厚度、平面度和线痕
  在（zài）检测（cè）阶（jiē）段提前剔（tī）除隐裂和碎片，减（jiǎn）少后续下料分拣负担